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超並列電子ビーム描画装置の開発

集積回路のディジタルファブリケーションを目指して

他著：江刺　正喜
他著：宮口　裕
他著：小島　明

紙版
超並列電子ビーム描画装置の開発の商品画像
出版社サイト。

内容紹介

並列電子ビームによる描画の実用化に向けて、アクティブマトリックス超並列電子ビームの実験・開発の成果をまとめる。

目次

第1章　マスクレス露光と電子ビーム描画・転写
第2章　並列電子ビーム描画の課題
第3章　並列電子ビーム描画装置用電子源
第4章　超並列電子ビーム描画（MPEBW)
第5章　応用と今後の課題
　

ISBN：9784861632969
。出版社：東北大学出版会
。判型：A5
。ページ数：236ページ
。定価：3000円（本体）
。発行年月日：2018年06月
。発売日：2018年06月05日
。国際分類コード【Thema（シーマ）】 １：TJF。

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