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近年著しい発展を見せているALD法（原子層堆積法）詳細と具体的適用例を解説！太陽光、電気、熱などのエネルギーの相互変換に携わる研究者・技術者には、ALD法によってなし得る事柄をまとめた貴重な1冊！

ISBN：9784860435653
。出版社：エヌ・ティー・エス
。判型：B5
。ページ数：328ページ
。定価：32000円（本体）
。発行年月日：2018年11月
。発売日：2018年11月19日
。国際分類コード【Thema（シーマ）】１：TJF。

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