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新材料・新素材シリーズ

MEMS，NEMS，センサ，CMOSLSIの融合

紙版

出版社サイト。

ISBN：9784781305868
。出版社：シーエムシー出版
。判型：B5
。ページ数：275ページ
。定価：68000円（本体）
。発行年月日：2012年11月
。発売日：2012年11月01日
。国際分類コード【Thema（シーマ）】１：TJF。

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