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エレクトロニクスシリーズ

触媒CVD(Cat-CVD)の新展開

ラジカルを用いる新プロセス技術

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監:中山 弘
出版社:シーエムシー出版
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同一作品の他版
アクセシブルブック

ISBN:9784781300399
出版社:シーエムシー出版
判型:B5
ページ数:276ページ
定価:65000円(本体)
発行年月日:2008年10月
発売日:2008年10月31日
国際分類コード【Thema(シーマ)】 1:TJF

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