ユ－ザ－のための実用オ－ジェ電子分光法
著：志水隆一
著：吉原一紘
紙版
内容紹介
マイクロエレクトロニクス産業をはじめ新しい応用分野でオージェ分析に携わる技術者に、分析装置の的確かつ効率良い使い方を解説した手引書。
目次
第1章 オージェ電子分光法の歴史
第2章 オージェ電子分光法の原理
第3章 測定機器の原理と構造
第4章 測定法
第5章 定性分析
第6章 定量分析
第7章 深さ方向の分析
第8章 特殊分析
第9章 各種材料の分析例
第10章 トラブルQ＆A
ISBN：9784320042247
。出版社：共立出版
。判型：A5
。ページ数：240ページ
。定価：4000円（本体）
。発行年月日：1989年06月
。発売日：1989年06月01日。
