シリーズ 結晶成長のダイナミクス 3
エピタキシャル成長のメカニズム
編：中嶋 一雄
紙版
内容紹介
本書ではエピタキシャル成長の熱力学、結晶成長のカイネティクス、基板の表面状態とエピタキシャル成長、ヘテロエピタキシャル成長といった、最も基本となる重要なテーマを取り上げて解説する。本文中に出てくる式に対しても、その導出を行いその意味するところを理解できるように述べた。また、専門用語に対してもできるだけ説明を加え、本書のみで読者が理解し、独力で読み進めることが出来るように工夫している。
目次
1．基本概念
1.1 はじめに
1.2 エピタキシャル成長の基礎
1.3 結晶成長に影響を与える因子
1.4 成長モード
2．エピタキシャル成長の熱力学
2.1 固液平衡からの成長 （LPE ）
2.2 固気平衡からの成長
3．結晶成長のカイネティクス
3.1 成長表面のカイネティクス
3.2 溶液成長における溶質元素の拡散
3.3 気相成長の物質輸送効果
4．基板の表面状態とエピタキシャル成長
4.1 面方位とエピタキシャル成長
4.2 微傾斜面とエピタキシー
4.3 サーファクタントを利用した成長
5．ヘテロエピタキシャル成長
5.1 ヘテロエピタキシャル成長と格子整合
5.2 ヘテロ構造の応力・歪み
ISBN：9784320034129
。出版社：共立出版
。判型：A5
。ページ数：200ページ
。定価：4000円（本体）
。発行年月日：2002年05月
。発売日：2002年05月23日
。国際分類コード【Thema（シーマ）】 １：TJF。
