薄膜作製応用ハンドブック

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監：権田　俊一

編著：多賀　康訓

編著：塚田　俊久

出版社：エヌ・ティー・エス

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各界の権威百余名の総力を結集した、現代薄膜技術の決定版。今日,各産業分野で益々その重要性が高まる薄膜技術を、実際的な応用と　評価技術を中心に、わかりやすくすぐに役立つように記述。　各界を代表する高度な学識経験者が最先端の技術内容を紹介し,さらに監修者と編集

ISBN：9784900830066
出版社：エヌ・ティー・エス
判型：B5
ページ数：1187ページ
定価：66020円（本体）
発行年月日：1995年11月
発売日：1995年11月30日。

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