目次

第1章 半導体製造装置を取り巻く現状
1-1　ひとつかみに見た半導体製造装置
1-2　半導体製造装置の市場規模
1-3　装置メーカとパラダイムシフト
1-4　日本の半導体製造装置メーカの現状
1-5　ファブの現状
1-6　ファブの多様化とは
1-7　シリコンウェーハの450mm 化の現状

第2章 半導体製造装置をファブから理解する
2-1　前工程と後工程
2-2　シリコンウェーハの用途
2-3　ウェーハハンドリングと製造装置
2-4　半導体ファブ（工場）と製造装置
2-5　クリーンルームと製造装置
2-6　ミニエンバイロメントとは？
2-7　製造装置に求められる性能
2-8　半導体製造装置に命を与えるファシリティー
2-9　装置の生産能力とファブ運営
コラム シリコンウェーハ色々
コラム クリーンルームはヒントの山、宝の山

第3章 洗浄・乾燥装置
3-1　洗浄・乾燥装置とは？
3-2　洗浄装置の分類
3-3　バッチ式洗浄装置
3-4　枚葉式洗浄装置
3-5　新しい洗浄装置
3-6　洗浄後に欠かせない乾燥装置
3-7　開発が進む新しい乾燥装置
コラム メーカの歴史を探る
コラム ウェーハ1枚10 万円の時代

第4章 イオン注入装置
4-1　イオン注入装置とは？
4-2　イオンソース
4-3　ウェーハとイオン注入装置
4-4　CMOSを作るイオン注入装置
4-5　イオン注入に代わる技術とは？

第5章 熱処理装置
5-1　熱処理装置とは？
5-2　長い歴史のあるバッチ式熱処理装置
5-3　枚葉式のRTA 装置
5-4　最新のレーザアニール装置
5-5　エキシマレーザ光源

第6章 リソグラフィー装置
6-1　多様なリソグラフィー装置
6-2　微細化を決定する露光装置
6-3　微細化を推進した光源の発展
6-4　露光に必要なレジスト塗布装置
6-5　露光後に必要な現像装置
6-6　リソグラフィー装置の一体化
6-7　最後に活躍するアッシング装置
6-8　液浸露光装置とは
6-9　多重パターニングに必要な装置
6-10　更に微細化を追求するEUV 装置
6-11　マスク形成技術と装置
コラム リソグラフィーのベイでは
コラム 繊細さが求められる露光装置
コラム EUV 技術の歴史

第7章 エッチング装置
7-1　エッチングプロセス・装置とは？
7-2　エッチング装置の構成要素
7-3　高周波印加の手法とエッチング装置
7-4　エッチング装置の歴史
7-5　クラスターツール化が進むドライエッチング装置
7-6　その後のドライエッチング装置
コラム ロードロックのないドライエッチング装置
コラム 装置トラブルから学んだこと

第8章 成膜装置
8-1　成膜装置とは？
8-2　基本中の基本―熱酸化装置
8-3　歴史のある常圧CVD装置
8-4　フロントエンドの減圧CVD 装置
8-5　メタル膜形成の減圧CVD 装置
8-6　低温化を進めたプラズマCVD装置
8-7　メタル膜に必要なスパッタリング装置
8-8　ダマシン構造とメッキ装置
8-9　low-k（低誘電率）膜形成に必要な塗布装置
8-10　high-k ゲートスタックへのALD 装置の応用
8-11　特殊な用途のSi-Geエピタキシャル成長装置
コラム 成膜装置とパーティクル管理
コラム 筆者の“夢物語”
コラム　熟成の蔵

第9章 平坦化（CMP）装置
9-1　CMP 装置の特徴
9-2　色々なCMP 装置の登場
9-3　CMP 装置と後洗浄機能
9-4　CMP 研磨ヘッドとは？
9-5　CMP 装置とスラリーと研磨パッド
9-6　終点検出機構
コラム 米国勢の逆襲
コラム CMP 装置＝リソグラフィー装置？

第10章 検査・測定・解析装置
10-1　プロセス後に活躍する観測装置
10-2　前工程ラインで活躍するレビューステーション
10-3　パーティクルを探し出す表面検査装置
10-4　パターン付きウェーハ欠陥検査装置
10-5　ウェーハを観察するSEM
10-6　微細化寸法をモニタする測長SEM
10-7　リソグラフィーに必須な重ね合わせ検査装置
10-8　膜厚測定装置とその他の測定装置
10-9　断面などを観察するTEM/FIB
10-10　歩留まり向上への検査・測定・解析装置の統合
コラム プロセス起因の欠陥

第11章 後工程装置
11-1　後工程のフローと主な装置
11-2　電気的特性を測定するプロービング装置
11-3　ウェーハを薄くするバックグラインド装置
11-4　チップに切り出すダイシング装置
11-5　チップを貼り付けるダイボンディング装置
11-6　リードフレームとつなぐワイヤボンディング装置
11-7　チップを収める封止・モールディング装置
11-8　身だしなみを整えるバリ取り・外装装置
11-9　最終検査装置とバーンイン装置
コラム 手動型のプロービング装置