シリサイド系半導体の科学と技術
資源・環境時代の新しい半導体と関連物質
編著:前田 佳均
紙版
内容紹介
公益社団法人 応用物理学会の「シリサイド系半導体と関連物質研究会」によって企画された待望の書。
環境負荷が少なく、かつ持続可能なグリーンテクノロジーである“シリサイド系半導体”の研究・開発において、世界をリードする著者たちが、その基礎物性と応用技術の現状を余すところなく解説した。
読者の方々が、(シリコン)光エレクトロニクス、スピントロニクス、グリーンテクノロジー、フォトニクス分野のさらなる進展へのブレークスルーに活用されんことを期待する。
目次
1.シリサイド系半導体の基礎
2.結晶成長技術
3.薄膜形成技術
4.構造解析
5.鉄シリサイドの物性
6.新しいシリサイドの合成と物性
7.シリサイド系半導体の応用
ISBN:9784785329204
。出版社:裳華房
。判型:A5
。ページ数:342ページ
。定価:5000円(本体)
。発行年月日:2014年09月
。発売日:2014年10月01日
。国際分類コード【Thema(シーマ)】 1:PHM。