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これからのMEMS

LSIとの融合

著：江刺正喜
著：小野崇人

紙版

出版社サイト。ためし読み電子版。

内容紹介

MEMSはシーズからニーズの時代へ．

MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し，大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です．

情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で，これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり，「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています．

本書では，そうした応用やニーズ面，開発の実際などをおもに取り上げ，具体的に解説しています．

これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が，MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です．

第1章　ヘテロ集積化（MEMSとLSIの融合）
第2章　次世代携帯機器
第3章　センサネットワーク・高機能センサ
第4章　光マイクロシステム
第5章　バイオ・医療用マイクロシステム
第6章　製造・検査装置
第7章　高度化と有効活用への道