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実験物理学講座 8

薄膜

編：権藤　靖夫

紙版

出版社サイト。

内容紹介

第I部では薄膜製作の代表的な実験技術を体系的に詳説し、第II部では導電体薄膜、誘電体薄膜、半導体薄膜、磁性薄膜、超電導薄膜、人工格子膜の物性について、薄膜製作条件と関係させながら丁寧に論じた総合的大系書。

I．薄膜製作技術
1．真空蒸着法

2．プラズマやイオンを用いた成膜法

3．スパッタ法

4．化学的方法（1）固相中の拡散

5．化学的方法（2）気体および液相成長

II．薄膜
6．導電体薄膜

7．誘電体薄膜

8．半導体薄膜

9．磁性薄膜

10．超電導薄膜

11．人工格子膜

12．薄膜製作技術補遺