フォトマスク
著：田邉功
著：竹花洋一
電子版
内容紹介
フォトマスクは半導体のウェーハ上に回路配線を形成するために用いる原版のこと。フォトマスクの製造技術の進歩はハイテク産業の進歩につながる。本書は次世代技術をささえるフォトマスク技術について，開発に携わる著者がわかりやすく，体系的にまとめたものである。半導体関連，ディスプレイ関連，マイクロマシン関連技術に携わる技術者，研究者におすすめ。
JP-eコード：50132820000000000000
。出版社：東京電機大学出版局
。コンテンツ公開日：2019年11月25日。