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早わかりQ&A クリーンルームの設計・施工マニュアル

改訂版

編:月刊クリーンテクノロジー編集部

紙版

内容紹介

クリーンルームは電子デバイス産業のみならず、医薬品や食品分野など多岐にわたり利用されています。合わせてクリーンルームにおける知識の習得は、専門分野の技術者だけでなく、多くの製造現場担当者や管理部門担当者など、その必要性が広がりをみせています。
本書は初級者から中級者を対象に、クリーンルームの計画や設計を行う際に必要な基本的項目を厳選し、それぞれの項目において1問1答形式で簡潔に解説しています。
また、見た目に分りやすいレイアウトを工夫するとともに、図・表・写真を多用して「早わかり」できるように構成しています。
≪Part1 基本編≫
≪Part2 空気浄化システム編≫
≪Part3 内装システム編≫
≪Part4 機器・機材編≫
≪Part5 性能評価編≫
≪Part6 応用分野編≫

目次

≪Part1 基本編≫
久禮得男・福島幸生・福井伊津志・小西俊一
Ⅰ ICR(インダストリアルクリーンルーム)とは
Ⅱ BCR(バイオロジカルクリーンルーム)とは
Ⅲ 清浄度クラスとは
Ⅳ 微粒子とは
Ⅴ クリーンルームの4原則とは
Ⅵ 室圧とは
Ⅶ 局所清浄化とは
Ⅷ 交差汚染(クロスコンタミネーション)とは
Ⅸ 静電気障害と対策とは
Ⅹ ユーティリティ設備・中央監視設備とは
XI  装置の諸元表とは
XII  検収試験とは

≪Part2 空気浄化システム編≫
西村浩一
Ⅰ フィルタの効率と寿命とは
Ⅱ クリーンルームの清浄度計算方法とは
Ⅲ 換気回数と清浄度の関係とは
Ⅳ 室圧と清浄度の関係とは
Ⅴ 気流性状とは
Ⅵ 空気浄化システムとは
Ⅶ 排気処理設備とは
Ⅷ 空調機器の決め方とは
Ⅸ 熱源システムの省エネルギーとは
Ⅹ 搬送システムの省エネルギーとは

≪Part3 内装システム編≫
田尻洋輔・田村 一
Ⅰ クリーンルームレイアウトとは
Ⅱ クリーンルーム内装とは
Ⅲ クリーンルームの天井とは
Ⅳ クリーンルームの間仕切とは
Ⅴ クリーンルームの床とは
Ⅵ クリーンルームの躯体処理とは
Ⅶ 内装の振動対策とは
Ⅷ 内装の耐震設計とは
Ⅸ クリーンルームの施工管理とは

≪Part4 機器・機材編≫
田村 一
Ⅰ 前室とは
Ⅱ 無塵衣とは
Ⅲ クリーンベンチとは
Ⅳ 一方向流とは
Ⅴ 非一方向流とは
Ⅵ 混在流型とは
Ⅶ クリーンブースとは
Ⅷ エアフィルタとは
Ⅸ ケミカルエアフィルタとは
Ⅹ FFUとは
XI  クリーンルームの清掃機材とは
XII  パスボックスとは
壱拾参  差圧ダンパとは

≪Part5 性能評価編≫
水谷 旬
Ⅰ クリーンルームの性能評価とは
Ⅱ 浮遊粒子濃度試験とは
Ⅲ 分子状汚染物質濃度試験とは
Ⅳ 気流、風速試験とは
Ⅴ フィルタリーク試験とは
Ⅵ 微生物測定試験とは

≪Part6 応用分野編≫
長谷部 弥・西村浩一・水谷 旬・稲葉 仁・平井 誠・福島幸生・中澤 賢・田村 一・中岡将士
Ⅰ 最新のクリーンルームとは
Ⅱ ≪半導体関連≫半導体工場向け搬送設備とは
Ⅲ ≪半導体関連≫FOUPとは
Ⅳ ≪FPD関連≫FPDのクリーンルームとは
Ⅴ ≪FPD関連≫FPDの静電気対策とは
Ⅵ ≪二次電池関連≫ドライルームとは
Ⅶ ≪食品関連≫食の安全とは
Ⅷ ≪食品関連≫HACCPとは
Ⅸ ≪食品関連≫防虫対策とは
Ⅹ ≪医薬品関連≫GMPとは
XI ≪医薬品関連≫バリデーションとは
XII ≪医薬品関連≫PIC/S GMP対応とは
XIII ≪医薬品関連≫RABSとは
XIV ≪動物飼育施設関連≫動物飼育施設とは
XV ≪その他バイオ関連≫安全キャビネットとは
XVI ≪その他バイオ関連≫アイソレーターとは
XVII ≪その他バイオ関連≫除染とは
XVIII ≪その他バイオ関連≫落下菌測定法とは
XIX ≪その他バイオ関連≫再生医療CPC施設とは

ISBN:9784819032124
出版社:日本工業出版
判型:A4変
ページ数:192ページ
定価:3000円(本体)
発行年月日:2021年03月
発売日:2021年03月12日
国際分類コード【Thema(シーマ)】 1:TNK