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クラスターイオンビーム基礎と応用

次世代ナノ加工プロセス技術

編著:山田 公

紙版

ISBN:9784526057656
出版社:日刊工業新聞社
判型:A5
ページ数:300ページ
定価:3200円(本体)
発行年月日:2006年10月
発売日:2006年10月01日
国際分類コード【Thema(シーマ)】 1:TJF