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「半導体立国」日本

独創的な装置が築きあげた記録

監:垂井 康夫
編:日本半導体製造装置協会

紙版

ISBN:9784526030420
出版社:日刊工業新聞社
判型:4-6
ページ数:432ページ
定価:1942円(本体)
発行年月日:1991年