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半導体工場のすべて

設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで

著：菊地　正典

紙版

出版社サイト。電子版。

ISBN：9784478017289
。出版社：ダイヤモンド社
。判型：A5
。ページ数：240ページ
。定価：2200円（本体）
。発行年月日：2012年08月
。発売日：2012年08月23日
。国際分類コード【Thema（シーマ）】１：KN
。国際分類コード【Thema（シーマ）】２：TJF。