ナノ電子光学
著：裏 克己
紙版
内容紹介
近年、電子ビーム、イオンビームは超微細加工を行うプロセス技術として、また走査電子顕微鏡などの分析・測定技術としてナノテクノロジーの基盤技術となっている。本書は、これら技術の基礎となる電子・イオンビームの軌道理論を具体例に即して体系的に解説した。
目次
1 はじめに
2 均一な静電・磁界中の電子軌道
3 電界および磁界
4 回転対称電磁界中に近軸軌道とその特性
5 回転対称電磁界によるレンズ収差
6 空間電荷効果
7 初速度分布の効果と電流密度分布
8 位相図とビーム径方程式
9 4極子レンズ
10 偏向器
11 プリズムと分光器
12 電子銃
13 イオン源
14 パルスビームと走行時間効果
15 変分法による軌道解析
16 収差理論
17 対物レンズの収差補正
ISBN：9784320086203
。出版社：共立出版
。判型：A5
。ページ数：352ページ
。定価：4800円（本体）
。発行年月日：2005年06月
。発売日：2005年06月10日
。国際分類コード【Thema（シーマ）】 １：TJF。
