スパッタ技術
著：和佐 清孝
著：早川 茂
紙版
内容紹介
著者の豊富な経験をもとに、スパッタの基礎から応用に至る技術について、セラミックス高温超電導体の薄膜化などの最新の具体例をあげて解説。
目次
1章 序章
2章 スパッタの基礎
3章 スパッタ装置と基本特性
4章 スパッタによる薄膜化
5章 スパッタによる微細加工
ISBN：9784320084773
。出版社：共立出版
。判型：A5
。ページ数：238ページ
。定価：4000円（本体）
。発行年月日：1988年01月
。発売日：1988年01月01日。
