半導体真空技術
著：宇津木勝
電子版
内容紹介
真空技術はあらゆる産業を支える基礎技術の一つであり、食品産業から宇宙産業に至るまでその恩恵に与っている、本書では半導体産業に焦点をあて、そこで使われている真空技術についてまとめた。できるだけ数式を使わずに理論的、体系的に半導体に関わる真空技術を解説。
JP-eコード：50141890000000000000
。出版社：東京電機大学出版局
。コンテンツ公開日：2019年11月25日。